工業会取扱製品情報
マイクロフォーカスＸ線用試験片
Micro Resolution Chart for X-Ray
Ｘ線装置の分解能を確認する試験片です。
日本検査機器工業会のＸ線用解像度マイクロチャート試験片情報
| 型式 | L/S幅 |
|---|---|
| RT RC-04 ※販売を終了しました | 0.1～10μm |
| RT RC-04B ※販売中 | 0.1～10μm |
| RT RC-05B ※販売中 | 3～50μm |
● マイクロフォーカス用
RT RC-04B
タングステン(W)の吸収体を最新の半導体製造技術の採用によりナノオーダ23種（0.1～10μm）のLine&Spaceマイクロチャートを実現しました。
L/S : 0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.35, 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, 7.0, 8.0, 9.0, 10.0μm (23種類)
RT RC-05B
金(Au)の吸収体を最新の超微細加工技術により、ミクロンオーダー16種類（3～50μｍ）のLine&Spaceマイクロチャートを実現しました。
L/S : 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10μm (T字配列) 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50μm (Ｉ字配列)(16種類)
| 型式 | RT RC-04B | RT RC-05B |
|---|---|---|
| L/S幅 | 0.1～10μm | 3～50μm |
| カタログ（日本語） | ||
| カタログ（英語） | ||
| 説明書 |