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工業会取扱製品情報

マイクロフォーカスX線用試験片
Micro Resolution Chart for X-Ray

X線装置の分解能を確認する試験片です。

日本検査機器工業会のX線用解像度マイクロチャート試験片情報

型式 L/S幅
RT RC-02B 0.4~15μm
RT RC-04 0.1~10μm
RT RC-05 3~50μm
RT CT-01 3~7μm

● マイクロフォーカス用

RT RC-02B

タングステン(W)の吸収体を最新の超微細加工技術によりサブミクロンからミクロンまでの16種類(0.4μm~15μm)のマイクロチャートを実現しました。

RT RC-02Ba画像

L/S : 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, 7.0, 10.0, 15.0 μm(16種類)

RT RC-02Bb画像

カタログPDF

RT RC-04

タングステン(W)の吸収体を最新の半導体製造技術の採用によりナノオーダ23種(0.1~10μm)のLine&Spaceマイクロチャートを実現しました。

RT RC-04a画像

L/S : 0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.35, 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, 7.0, 8.0, 9.0, 10.0μm (23種類)

RT RC-04b画像

カタログPDF

RT RC-05

金(Au)の吸収体を最新の超微細加工技術により、ミクロンオーダー16種類(3~50μm)のLine&Spaceマイクロチャートを実現しました。

RT RC-05a画像

L/S : 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10μm (T字配列) 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50μm (I字配列)(16種類)

RT RC-05b画像

カタログPDF

RT CT-01

最新の超微細加工技術により、金(Au)の吸収体を採用したミクロンオーダーのマイクロフォーカスX線CT装置の解像度評価や調整等に使用する解像度マイクロチャートです。

CT用マイクロチャートa画像

L/S : 3, 4, 5, 6, 7μm (5種類)

CT用マイクロチャートb画像

カタログPDF

型式 RT RC-02B RT RC-04 RT RC-05 RT CT-01
L/S幅 0.4~15μm 0.1~10μm 3~50μm 3~7μm
カタログ(日本語) PDF PDF PDF PDF
カタログ(英語) PDF PDF PDF PDF
説明書 PDF PDF PDF PDF

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