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安全と品質を支える検査と計測
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X線CT装置の分解能を確認する試験片です。
最新の超微細加工技術により、金(Au)の吸収体を採用したミクロンオーダーのマイクロフォーカスX線CT装置の解像度評価や調整等に使用する解像度マイクロチャートです。
L/S : 3, 4, 5, 6, 7μm (5種類)
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